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自动300 mm晶圆搬送机 AL120-12

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AL120-12 自动 300 mm 晶圆搬送机
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概览

AL120-12晶圆搬送机对应可使用FOUP(装载口)和FOSB,适用于低成本的后期检查。安全且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时(包括薄晶圆和变形晶圆)的效率和安全。

人机工程学设计,操作方便

  • 可以自由设置的检查模式,在设计上考虑了后道工程中的操作性,尤为重视设备的操作简便性。
  • 分别对应FOUP(Load Port)和FOSB的两种机型。

坚固、可靠和安全传送

  • 延续了上一代机型的坚固性、可靠性和安全性,能够安全可靠的传送300 mm晶圆。
  • 薄片,Warped晶圆皆能安全搬送。
  • 宏观观察位置的优化和操作单元的集中排列,提高了设备的操作舒适性。

技术规格

自动300 mm晶圆搬送机 AL120-12 规格
AL120-LMB12-LP3AL120-LMB12-F
晶圆尺寸300 mm(SEMI M1.15 t=775 μm)可选:200 mm
卡盒●FOUP(Front Opening Unified Pods)前开门标准夹
●SEMI:E47.1-0200规格产品
●FIMS-FOSB, FOSB
●FOSB(Front Opening Shipping Box)前开门搬运盒
●SEMI:M31-0999规格产品
卡盒数单盒(装载、卸载兼用)
卡盒设置高度900 mm
装载端口有无
搬运顺序表面宏、内面宏、显微镜检查
检查模式全部检查、抽样检查
晶圆校准非接触式中心环
晶圆搬运方式真空吸附机械搬运
适用显微镜半导体检查显微镜MX61L
应用环境AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz
真空-67~-80 Kpa
压缩空气0.5MPa~0.6MPa
AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz
真空-67~-80 Kpa
载物台XY手动吸附载物台,有XY粗调/微调和360度旋转机构
重量(不包括显微镜)约360 kg约270 kg

资源库

产品信息说明册

AL120-12 自动 300 mm 晶圆搬送机
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